微机电系统是一种高度交叉融合的技术体系，涉及微电子、机械工程、材料科学、物理学、化学、控制工程、计算机科学以及生物医学工程等多个学科。微电子提供制造基础，机械工程负责结构设计，材料科学保障性能与可靠性，物理和化学支撑理论与工艺，控制与计算机技术实现系统智能化，生物医学工程拓展应用边界。未来MEMS将向更小尺度、更高集成度和更智能方向发展，成为连接硬件结构与智能系统的重要平台技术。