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中科融合:高精度MEMS微振镜芯片——感知真实3D 世界的眼睛

3D视觉是机器视觉的重点发展方向,其市场空间广阔、潜力巨大。根据高工智能机器人产业研究院数据,2023 年 2D 视觉市场规模约为 220 亿元,3D 视觉市场约为 30亿元。至2025年,我国机器视觉市场规模将有望超过 380 亿元,其中3D 视觉市场规模将超过 100 亿元

Gartner发布的2019年新兴技术成熟度曲线中,3D传感技术有望在近期进入成熟期。三维扫描成像技术被广泛用来作为XR/元宇宙、数智孪生、虚拟人等应用的数据获取的入口,可以用来对物体、人物等进行高精度的扫描建模,获得的点云被进行智能处理,并且被虚拟化。

5月12日,第十三届“松山湖中国IC创新高峰论坛”在广东东莞松山湖凯酒店举行,本届论坛以“面向AR/VR/XR 与元宇宙的创新 IC 新品推介”为主题,通过组织本土芯片设计企业和终端应用厂商开展深度的需求对接,打造国内具影响力的中国创新集成电路新品集中推广和发布平台,对提升国内集成电路设计水平、推动促进国内芯片-整机联动发展具有积极意义。

中科融合感知智能研究院(苏州工业园区)有限公司联合创始人、CTO刘欣

“相较目前主流的三维成像技术,条纹结构光可以达到较高水平的成像精度和分辨率。” 中科融合联合创始人、CTO刘欣在会上表示,公司自研的MEMS激光微振镜投射芯片是实现条纹结构光的条纹投影的核心部件,进入这个赛道最主要的原因,是越来越深刻认识到3D视觉是机器视觉重点发展方向之一。

作为精密光学指向性控制芯片,中科融合的MEMS芯片拥有的技术优势包括:

1)体积小,低功耗:基于电磁驱动的MEMS芯片设计(MEMS芯片功耗<100mW);

2)光路简单,FoV可调范围大:无需复杂透镜组,FoV可调范围为0到~100°;

3)抗干扰强:光机使用边发射激光作为光源,频带宽度窄(考虑温漂以后~10nm),相比起LED光源,可使用带宽更窄的滤光片,提升对环境光的抗干扰性。

据介绍,中科融合基于自研MEMS微振镜投射芯片的激光投射模组,采用高精密驱动控制实现低温漂和高角度重复精度,支持可见光、红外波段等激光光源,为客户提供高精度、高对比度、抗干扰能力强的激光投射模组。

公司目标市场包含两大类:三维视觉成和微型显示和投影。这两大类市场领域赋能了下游诸多应用场景,如说3D视觉对应智能工业中的3D视觉抓取、物流分拣、缺陷检测,智能AGV中的自动避障、抬头显示等;微型显示与投影则对应家庭娱乐中的微型激光投影、家居服务机器人,AR/VR中的元宇宙入口、3D数字化社交、数字医疗等应用领域。

刘欣表示,目前3D视觉技术还不能很好地解决应用市场“精度低&体验差 or 精度高&价格昂贵”的痛点。以智能制造场景中的智能抓取为例,主要解决方案是通过DLP器件进行条文结构光的投射,使用GPU等芯片进行三维视觉成像。“但是这种解决方案价格昂贵、体积大、功耗高,而且核心器件都被外国垄断。”

还有增强现实(AR)场景中的3D数字建模。目前主流方案要么存在精度低、体验差的缺陷,要么存在体积大、价格高的缺陷。

“中科融合希望通过自研的核心芯片和模组技术更好解决3D视觉场景的应用痛点。” 刘欣说到,目前公司已实现从MEMS设计、MEMS工艺、光学器件、光机电驱动反馈集成等微纳光学组件的全链条技术完全自研。“公司自主开发的全套工艺良率高,核心参数国内名列前茅,在国际上极具竞争力。”

上图中已量产的高精度MEMS激光投射模组基于两颗核心芯片,左边是MEMS微振镜芯片,主要是替代美国DLP芯片进行条纹光的投射;右边芯片可以替代GPU和系统控制,进行3D成像。

通过这两颗芯片形成模组,在相同成像效果和相同体验的情况下,具有高精度、低功耗、高可靠性、小体积等优势。与其他知名友商的激光投射模组产品相比,拥有现有最大的FoV(>55°x50°),同时还拥有和机械振镜相当的精度,明显优于同样使用MEMS技术的友商产品。

据介绍,在3D视觉全技术链条中包括像智能三维视觉算法、光学MEMS和智能计算SoC的设计。中科融合是国际国内为数不多打通全技术链条的公司,只有这样才可以进行跨层级的深度的垂直整合和优化,同时拥有更高的技术壁垒。

中科融合的核心技术之一是高精度MEMS微振镜芯片,拥有自研MEMS芯片到微纳光学工艺、光机电集成、超小型激光投射光机等全套技术。具备体积小、功耗低;光路简单,可调范围大于100度;抗干扰能力强等核心优势。

同时,中科融合的MEMS微振镜芯片正在被应用于自研的Laser Beam Scanning(LBS)模组中,用于XR显示等应用。相比其他技术路线(LCOS,u-LED),LSB技术具有成本低廉,可小型化,光路结构更简洁等优势,因此被认为是XR领域成像的优异方案。

刘欣简介

刘欣博士,研究员、博导,「海外高层次人才引进计划」、「江苏省高层次创新创业人才」。本科毕业于天津大学,博士毕业于新加坡南洋理工大学(NTU)电子与电气工程专业,曾任新加坡科技局微电子研究院智能芯片部主任,智能视觉算法与高能效芯片设计领域资深专家。现任中科院苏州纳米所研究员、中科融合联合创始人/CTO。科研领域涵盖了人工智能算法、光学MEMS芯片、高能效SoC芯片设计、芯片先进封装集成等三维视觉MEMS+SoC芯片设计生态链的各个领域。主持承担了10余项国家级和工业界大型科研项目和工业项目,拥有10余颗使用先进工艺和先进器件的芯片成功量产经验。研究成果发表在超过80篇国际高水平的IEEE专著/期刊/会议中,相关研究成果已经被授予美国/新加坡/中国专利20余项。

关于中科融合

中科融合感知智能研究院(苏州工业园区)有限公司成立于2018年10月25日,是国内一家专注于“AI+3D”自主核心芯片技术的硬核科技高新技术企业,智能三维光学芯片供应商。  

中科融合是中科院苏州纳米所“重点企业”,是中科院国科控股“运行良好,产权清晰”的A类企业。从核心技术团队从国外归来,在中科院的支持下,通过10余年时间1亿元以上资金投入,首次在国内实现了先进光学MEMS与SoC芯片的全技术链条打通。MEMS获得中科院“重大突破专项优异”,整体技术入选“姑苏实验室”2021年重大创新成果。中科融合作为国家级“高新技术企业”获得了包括国家级媒体中央电视台等专题报告,相关技术获得中国MEMS大赛名列前茅名,“具投资价值奖”,SOC获得包括国际国内知名机构毕马威与CITIC等“芯片50强”的荣誉。

目前中科融合的“AU+3D”核心技术,广泛布局于机器人、医疗美容、XR/元宇宙、自动驾驶等领域,实现国产芯片替代。作为一个致力于自研芯片技术的企业,在芯片技术形成产品后,实现了数十倍的销售增长。中科融合企业的市场化融资估值,在过往3年疫情和国际局势的双重重压下,获得了超过50倍的增长。

文章来自:https://www.eet-china.com/

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